عالية الدقة 2D و 3Dإكسنظام الأشعة السينيةFF70 كلي

عالية الدقة 2D و 3D التلقائي تحليل الحد الأدنى من العيوبإكسراي النظام

بسبب عيوب في رقاقة ، الركيزة ، الشريط ، أو مكونات المنتج النهائي ، فمن الضروري لتحقيق الإنتاج الأمثل من خلال أتمتة عالية الجودة ، والموثوقية ، وسرعة اختبار غير تدميري والتحليل في تصنيع أشباه الموصلات . نوع جديدFF70 CL Xالأشعة السينية للكشف عن نظام مصمم خصيصا لأتمتة أفضل تحليل الحد الأدنى والأكثر تطلبا من العيوب في هذه العينات . النتائج : اختبار الكشف عن دقة عالية ، والتكرار ، والأداء الممتاز .

ل تحسين مراقبة الجودة ، والتحقق من المزيد من المواقع مع ارتفاع القرار ، وبالتالي تحديد الأخطاء التي قد تكون مفقودة

ل خفض التكاليف بشكل ملحوظ من خلال تحسين تغطية الاختبار ، وبالتالي زيادة الإنتاجية

ل موثوق بها وقابلة للتكرار التحقق من اتساق العملية عيب المعلمات في أي وقت

ل هذا الابتكار الآلي تحليل الحل سهل الاستخدام ، وتحسين تكلفة التشغيل

قدرة النظام

FF70 كليمع أكبر منطقة الكشف ، أي ،510 × 610 مم، فضلا عن عمق الكشف الدقيق للغاية ، أي أقل من150 نانومترهو جدّا مناسبة لأنّ آليّة و تحليل غير تدميري لحام عثرة وملء من خلال ثقب في 3D جيم ، رقاقة رقاقة .

فراغ مبتكرة آلية نظام التشغيل يمكن أن تبقي على عينة بأمان وبدقة في عملية التحليل ، ويمكن أن تعوض تأثير عينة انفتال .

FF70 كليتوفير 2D ( من أعلى إلى أسفل ) عالية الأداء للكشف عن لوحة مسطحة و 3D )سي إل -التصوير الطبقي المحوسب ) التحليل الآلي ، واستخدام عالية الدقة صورة محسن لأداء إمالة التناوب في عملية خاصة عنصر .

أحدث جيل من نانو التركيزإكسأنبوب الأشعة السينية يمكن أن تولد الصور ثنائية الأبعاد وثلاثية الأبعاد التي يمكن عرض وقياس الحد الأدنى من الفراغات والوظائف .FF70 كليقادرة على تحليل اشباه الموصلات المتطورة الأكثر تطلبا من المشاكل .

واجهة المستخدم الرسومية )واجهة المستخدم الرسوميةسهلة الاستخدام وبديهية ، مما يسمح للمستخدمين بسهولة إنشاء الآلي ، متعدد نقطة ومتعددة الوظائف تحليل واختبار البرنامج .

التلقائي نظام الرصد المستمر في كل جانب من جوانب الخلفية المعايرة والاختبار ، يمكن ضمان قياس الوقت متفاوتة التكرار .

قائمة خصائص النظام :

ل التلقائي تحليل تدفق عالية ، التكرار جيدة وموثوق بها نتيجة

ل يمكن بسهولة إنشاء التلقائي ، متعدد نقطة متعددة الوظائف تحليل واختبار البرنامج ، مما يتيح سرعة التغيير بين عينة وقياس المهام .

ل تنفيذ الرصد المستمر وتحسين الخلفية لضمان التكرار والدقة في القياس

البيانات التقنية